電子廠凈化工程中的空氣過濾系統,可通過初效、中效和高效三級過濾器,去除不同大小的顆粒物。初效過濾器主要攔截較大的塵埃顆粒,如毛發和纖維;中效過濾器則進一步捕捉較小的粉塵和花粉;末端的HEPA過濾器對0.3μm以上的顆粒過濾效率高達99.97,確保送入車間的空氣高度潔凈。凈化工程采用“層流送風”和“回風循環”相結合的方式。通過高效送風口將經過過濾的潔凈空氣均勻送入車間,形成穩定的氣流,帶走生產過程中產生的微粒和污染物,再經回風百葉窗返回空調系統進行再次凈化,實現空氣的持續循環和凈化。
精密空調系統將溫度波動控制在±0.5℃以內,濕度偏差不超過±3℃。在PCB生產車間,環境濕度低于45會引發基板變形,高于60則導致焊膏粘連--這要求空調機組配備納米級加濕器和露點除濕雙模塊。車間內部維持正壓狀態,防止外部未凈化空氣滲入。同時,通過智能混風箱動態調節新風比例,保證CO2濃度低于800ppm,并確保不同區域(如生產區與緩沖區)之間存在合理的壓差梯度,避免交叉污染。
電子廠凈化工程的測定步驟:
1.檢測前準備
-確保所有暖通空調系統、潔凈室圍護結構、公用設施安裝完畢并通過靜態測試。
-模擬動態生產狀態,包括設備就位并開啟、工藝化學品供應系統準備就緒、操作人員身著完整潔凈服進行模擬操作等。
-HVAC系統需連續運行至少24小時,確保溫濕度和潔凈度穩定。
-校準粒子計數器、風量儀、壓差計等儀器,確保在有效期內。
2.核心動態檢測內容
-空氣潔凈度測試:使用離散粒子計數器在關鍵區域(如工藝區、設備周邊)采樣,分析數據均勻性和穩定性。
-氣流測試:用風量罩測量高效送風口的送風量與換氣次數;通過煙霧筆或干冰觀察氣流方向,驗證無渦流或停滯區;模擬污染后測試自凈恢復時間。
-壓差測試:模擬門開關動作,觀察壓差變化及恢復能力,確保關閉后迅速恢復設定值。
-溫濕度監測:使用高精度記錄儀在設備區、回風口等多點連續監測24小時以上,分析波動是否符合設計范圍(通常溫度20-24℃,濕度45-55)。
-懸浮分子污染(AMC)測試:采集空氣樣本,通過氣相色譜-質譜聯用儀分析有害化學物質含量。
3.其他專項檢測
-靜電消除系統:檢測靜電消除器性能及接地電阻是否達標。
-水處理系統:驗證軟化水、純水設備的水質符合工藝要求。
-車間裝修驗收:檢查墻面厚度、地面平整度、吊頂牢固性等。